Belüftung für Sauberkeit in Reinräumen

Um eine saubere Umwelt zu erreichen, müssen integrierte Maßnahmen ergriffen werden, die Prozessdesign, Gebäudeebene, Gebäudedesign, Gebäudeausführung, Reinigung von Personal und Materialien, Luftreinigungsmaßnahmen, Wartungsmanagement usw. umfassen. Im Hinblick auf die Luftreinigung werden hauptsächlich die folgenden spezifischen Maßnahmen angewendet [1]:
(1) Die dem Reinraum zugeführte Luft muss hochrein sein. Daher muss als Endreinigungsfilter ein hocheffizienter oder unterhocheffizienter Filter (mit niedrigem Reinheitsgrad) ausgewählt werden, um die letzte Filterstufe der in den Reinraum eintretenden Luft durchzuführen. Um den Endfilter zu schützen und seine Lebensdauer zu verlängern, muss die Luft zunächst durch einen Filter mittlerer Effizienz geleitet werden.
(2) Je nach Reinraumklasse ist es sinnvoll, das Schema der Luftstromverteilung im Reinraum zu wählen. Vermeiden Sie im Arbeitsbereich die Wirbelzone und versuchen Sie sicherzustellen, dass die in den Raum geleitete hochreine Luft direkt in den Raum gelangt. Arbeitsbereich; Der Luftstrom trägt zur Sauberkeit des Raums bei. Partikel werden aus dem Rückluftauslass freigesetzt.
(3) Die Luftmenge ist ausreichend, um nicht nur die Staubkonzentration in der Luft zu verringern, sondern auch eine stabile Luftstromstruktur sicherzustellen.
(4) Zwischen reinen Räumen auf unterschiedlichen Ebenen, zwischen reinen und unreinen Räumen sowie zwischen reinen Räumen und der Außenwelt muss ein gewisser Überdruck aufrechterhalten werden.